作者：郭琳瑞,陈烽,叶雄英,刘力涛,伍康,周兆英 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052720 DOC编号：DOCCGJS2006052729 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜，以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器，并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明，利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜，对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V~4V，发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种“post-MEMS”的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点，同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏，实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容。

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