作者：TANO M,高伟,DIAN S Y,KIYONO S,TOMITA Y,MAKINO K,MOTITA H 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2006年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2006030040 DOC编号：DOCNMJM2006030049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种使用Sawyer马达驱动的平台和表面编码器组成的精密定位系统．该平台包括一个台板和若干线性脉冲马达推动器．台板由防腐钢板制成，在其表面加工了齿牙．线性脉冲马达推动器靠空气支承悬浮在台板上，用以驱动平台．每一驱动器均由一个永久磁铁和两个驱动线圈组成，用以产生X向和Y向的平台驱动力．设计了一种表面编码器用以测量和控制平台的运动．一个正弦格栅装在台板上，一个传感组件装在平台驱动器上．在该传感组件中有三个光学传感器，用以测量三个分离点上的X和Y方向的位置，平台的θ_z向位置可以从传感器输出求得．开发了一种反馈控制系统用以控制平台运动．测量和反馈控制实验证明了该精密系统的可行性．

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