作者：赵玉龙,赵立波,蒋庄德 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052260 DOC编号：DOCCGJS2006052269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构；通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处，研制出量程为&#177；2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度，满量程输出为126.97mV/2V，静态精度为0.86%FS。

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