作者：胡礼广,蒋洪奎 单位：中国兵器工业集团新技术推广研究所 出版：《新技术新工艺》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXJXG2006050050 DOC编号：DOCXJXG2006050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 超精密测量是超精密加工中的重要一环，目前其研究的内容主要涉及光干涉技术、电学测量技术以及扫描探针技术等几个方面，本文主要介绍了几种测量技术的工作原理、设备技术等方面的研究及进展情况。

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