作者：张凯,彭云峰 单位：辽宁省机械研究院 出版：《机械设计与制造》2006年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYZ2006020000 DOC编号：DOCJSYZ2006020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《静电键合力引起硅微结构畸变的研究》PDF+DOC1997年第01期 任建军,陶盛,沈绍群 《并联式六维加速度传感器的混合解耦及误差自补偿算法》PDF+DOC2015年第10期 尤晶晶,李成刚,吴洪涛,谢志红,陈晶 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC1996年第04期 陈宏,沈绍群,鲍敏杭 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC1995年第01期 费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作》PDF+DOC2011年第08期 涂晟,王军波,商艳龙,陈德勇 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC2010年第06期 苏赋文 《侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC2008年第03期 董健 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC2006年第08期 毋正伟,陈德勇,杨苗苗,徐磊 《基于MMA8452Q传感器的计步器抗干扰设计》PDF+DOC2014年第07期 李萍,陈鹏宇,李泽仁

    • 这里针对微机械电子系统中存在的多物理场耦合现象，提出一种微结构的多物理场耦合求解方法。该方法首先将微机械电子系统分解为机械场(实体微结构模型)和多个单物理场的组合；然后，对各物理场与实体微结构模型的控制方程采用有限元/边界元离散为线性方程组，最后利用迭代法求解。为证明方法的可行性，这里对微加速度传感器中的微悬臂梁结构进行多物理场解耦分析。解耦分析的结果表明，该方法是合理可行的。

    📙 相关资料

    1. 《静电键合力引起硅微结构畸变的研究》PDF+DOC 硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅—玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变，造成器件特性劣化或破坏。本文分析了静电力的这些影响，并结合实践提出了一些解决方法...
    2. 《并联式六维加速度传感器的混合解耦及误差自补偿算法》PDF+DOC 针对惯性仪器普遍存在的误差累积问题，以并联式六维加速度传感器为例，提出了一种新的解决方案。通过融合位形空间和相空间内的解耦算法，推导出关于8个Hamilton转动参量的常微分方程组以及广义加速度关于转动参量的一次多项式，共同构成了新的混合解耦算法。通过剖析混合算法的基本结构及其中间参量的影响因素，找......
    3. 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC 过载能力是加速度传感器的重要参数之一，缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力，并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力，达到了实用的要求.本文还对测量......
    4. 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。...
    5. 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC 简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位。主要介绍了pre-CMOS，interme-diate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOSMEMS工艺。详细讨论了CMOSMEMS今后将面临的挑战及其未来应用领域，最后，根据国内情况对我国CMOSMEMS的发展提出了建议。...
    6. 《高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作》PDF+DOC 为提高加速度传感器灵敏度，提出一种新的加速度敏感机制，并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数，并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子，提高器件性能的同时简化了制作工艺，利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各......
    7. 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC 讨论了加速度与受力、运动方向之间的关系。对几类测量加速度的微机械式加速度传感器进行了讨论，并针对每种类别分别选取一种典型的结构，分析了内部的工作原理。通过比较各类传感器的差异和联系，总结了一般加速度传感器的共同特征。...
    8. 《侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.硅微机械加速度传感器采用压阻式双悬臂梁整体式结构.两个结构相同分布方向相反的悬臂梁采用DRIE工艺加工，在每个梁的侧面通过硼扩散形成两个压敏电阻，四个压敏电阻构成惠斯痛全桥连接，在悬臂梁的根部采用DRIE工艺形成电隔离窄沟槽，并淀积......
    9. 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC 介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析，分辨力可以达到1mgn，测试&#177；1gn范围内线性度可以达到99.99%。...
    10. 《基于MMA8452Q传感器的计步器抗干扰设计》PDF+DOC 介绍了基于MMA8452Q加速度传感器的计步器设计。MMA8452Q是一款具有12位分辨率的智能低功耗、三轴、电容式微机械加速度传感器。本设计充分利用了该传感器对被检测模拟信号的滤波处理能力，并配合软件抗干扰措施，通过检测人行走时腰部产生的垂直加速度的变化，实现间接检测步数的目的。设计硬件简单，计步......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。