《基于实时误差补偿的精密定位系统的研究》PDF+DOC

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2. 《基于电容传感器的精密压电微位移系统研究》PDF+DOC 利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统，极大地矫正了压电陶瓷的非线性。设计了高精度的位移检测电路，实时采集电容传感器的电容量并转换成数字信号反馈给DSP，形成位移信息的闭环。结合带有前馈补偿的PID闭环控制策略，矫正压电陶瓷的非线性特性，进而实现微位移系统精密定位。对设......
3. 《深小孔镗削在线补偿方法的研究》PDF+DOC 采用压电陶瓷（ＰＺＴ）传感器等测量控制技术，在线补偿镗削加工中的误差，以提高镗孔精度。为实现深小孔镗削时的在线补偿，将镗杆做成双杆结构，使镗杆外径相对较小而长度较长，以满足精密加工深小孔的要求。...
4. 《基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统》PDF+DOC 设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计，有效地抑制了正交运动的耦合，同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制，有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验结果表明，该系统定位精度优于1nm，可在0.5μm&#215；0.5μm......
5. 《压电陶瓷微位移驱动器在IC封装设备中的应用研究》PDF+DOC 在IC封装设备中 ，由于直线导轨的扭摆 ，造成的封装工作台工作梁末端的定位误差 ，是使工作台定位精度降低的一个主要原因。由于IC封装的高速高精度特性 ，使一般的误差补偿系统无法在其上进行应用。本文讨论了一种基于压电陶瓷的新的误差补偿方法 ，该方法通过电涡流传感器对直线导轨偏摆误差进行测量 ，从而在末......
6. 《高速精密定位平台的偏摆误差实时补偿》PDF+DOC 针对二维直线运动平台末端出现偏摆误差、降低平台直线运动精度的现象，研制了一种新型的基于偏摆误差实时补偿的高速精密定位平台.基于电容式微位移传感检测技术，建立了新型精密定位平台的偏摆误差检测模型.采用赫兹接触理论，建立了滚珠导轨副的刚度模型，进而建立了基于滚珠丝杠驱动、直线滚珠导轨副支撑的宏动工作台的......
7. 《基于差动电容传感器的微动定位系统设计》PDF+DOC 设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统，该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采用簧片结构设计系统的机械结构，使用压电陶瓷作为执行器件，使用差动电容传感器作为位移反馈，实现闭环控制，从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应。介绍了微动定位系统的机械组成和差动电容传感器信号检测电路的工作原......
8. 《提高激光干涉测量精度的研究》PDF+DOC 空气折射率的补偿效果在高精度激光干涉测量中起着瓶颈的作用 ，解决空气折射率的高精度测量问题有助于激光干涉测量精度提高 .用一种电容传感器测量空气介电常数而相对测量空气折射率 ，进而通过计算机多点测量补偿装置提高激光干涉测量的测量精度 .仅用一种传感器反映几种空气参数及其成分的变化对空气折射率的影响 ......
9. 《大坝的微形变监测系统设计研究》PDF+DOC 采用高精密激光传感器，运用屏蔽系统和位置补偿使精度提高到几百纳米级，可将其运用于超级高坝坝体形变监测。不受湿度、温度和电磁场的干扰，能在恶劣环境中正常工作。对作为测试平台的精密X-Y工作台进行了重点设计，提出了误差补偿的方案，使测量方法的原理误差降低到微米级的程度。...
10. 《江河大坝的微形变检测系统研究》PDF+DOC 微形高检测系统采用高精密激光传感器，运用屏蔽系统和位置补偿，使得精度提高到微米级，可将其用于超级高坝坝体形变检测。该系统不受湿度、温度、电磁场的影响，能够在恶劣的环境下实现无人自动监控，并自动进行数据处理。对精密X-Y-Z三向工作台做了重点设计，根据机电一体化原理采用了滚珠丝杠、直线导轨等精密元件。......