作者：毛海央,熊继军,张文栋,郭涛,徐栋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052300 DOC编号：DOCCGJS2006052309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压阻式微加速度计动态特性与阻尼的关系研究》PDF+DOC2007年第09期 毛海央,熊继军,张文栋,徐栋,范波 《高g值压阻加速度计动态特性与阻尼的关系研究》PDF+DOC2012年第09期 刘爱莉,范锦彪,张茹开,王永芳 《复合量程微加速度计的研究》PDF+DOC2006年第05期 熊继军,毛海央,张文栋,徐栋,郭涛 《基于压阻原理的磁流变减振器阻尼力传感器设计》PDF+DOC2016年第20期 董小闵,毛飞,魏燕 《压阻式加速度计的阻尼分析》PDF+DOC1999年第02期 陈丽洁,范茂军,侯占民,李恒一 《基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计》PDF+DOC2013年第05期 袁明权,孙远程,张茜梅,武蕊,屈明山,熊艳丽 《复合量程MEMS加速度计抗高过载的优化设计》PDF+DOC2012年第05期 徐香菊,朱杰,郭涛,李文燕 《介观压阻型硅锗加速度计研究》PDF+DOC2009年第03期 温银萍,温廷敦 《微加速度计固有频率的推导及验证》PDF+DOC2008年第06期 鲍爱达,徐晓辉,张英祥,范波,郭涛 《复合量程加速度计在炮射导弹中的研究及应用》PDF+DOC2013年第02期 朱杰,郭涛

    • 为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数，通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程，可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时，复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比。

    📙 相关资料

    1. 《压阻式微加速度计动态特性与阻尼的关系研究》PDF+DOC 采用微机械加工工艺制作的压阻式微加速度计在测试过程中经常出现动态特性欠佳甚至于结构损坏的现象，在压阻式微加速度计中，合理设计阻尼参数有助于改善传感器的动态特性。将压阻式微加速度计简化为二阶模型，定性分析了系统动态特性与阻尼之间的关系，研究了压阻式微加速度计结构中阻尼的设计和控制方法，仿真、比较了带不......
    2. 《高g值压阻加速度计动态特性与阻尼的关系研究》PDF+DOC 为了避免高g值压阻加速度计在工作过程中出现结构易损坏、响应信号精准度低的问题，需要在设计过程中合理调整阻尼参数。基于高g值传感器固有频率高、上升时间短两个特性，通过建模仿真从时域和频域两方面分析了阻尼对传感器动态响应特性的影响。得出阻尼比范围在0.10～0.25时高g值压阻加速度计动态特性较好，并通......
    3. 《复合量程微加速度计的研究》PDF+DOC 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量，例如，分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况，既需要测试发射过程中上万个g的加速度，也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求，介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复......
    4. 《基于压阻原理的磁流变减振器阻尼力传感器设计》PDF+DOC 为实现磁流变减振器运行中的健康状态监测并满足轿车磁流变减振器控制器阻尼力的需要，设计了一种可同时测量磁流变减振器压缩和复原行程中动态阻尼力的压阻式力传感器。根据汽车磁流变减振器的工作特性和压阻式压力传感器的设计原则，对阻尼力传感器进行了整体结构设计；采用理论计算与有限元仿真相结合的方法，以达到设计量......
    5. 《压阻式加速度计的阻尼分析》PDF+DOC 从声学的角度对压阻式加速度计的阻尼给予理论上的分析，从辐射阻及声吸收两个方面阐述了阻尼的物理过程，从而确定影响阻尼的物理因素，为加速度计的阻尼调整提供理论依据。...
    6. 《基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计》PDF+DOC 设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构，解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装，较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品，尺寸仅为1 mm&......
    7. 《复合量程MEMS加速度计抗高过载的优化设计》PDF+DOC 在航空航天及武器系统中，传感器承受很大的冲击，这就要求传感器具有很高的抗高过载能力。文中在原有基础上对复合量程微加速度计中的高低量程模块进行抗高过载设计的优化。试验测得优化后的结构能够抗20000g，能够有效地满足高过载高冲击环境的要求。...
    8. 《介观压阻型硅锗加速度计研究》PDF+DOC 提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度压阻式硅锗加速度计，采用Si1-xGex/Si结构薄膜作为敏感元件，设计了一个双悬臂梁式的压阻式硅锗加速度计.通过理论分析与仿真计算，得出通过调整对该结构的外加应力可以实现对传感器灵敏度的调节，而且利用介观压阻效应原理可以将压阻式硅微加速度计的灵敏度提高一个数......
    9. 《微加速度计固有频率的推导及验证》PDF+DOC 为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性，避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。本文就针对一种四边八梁结构的高gn值压阻式加速度计，通过力学知识，简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式，并利用有限元仿真软件和测试高gn值加速度计频率特性的方......
    10. 《复合量程加速度计在炮射导弹中的研究及应用》PDF+DOC 针对炮射导弹在发射、飞行时的特殊环境，安装多个传感器所产生的测量信号位置误差等问题，设计研究了复合量程微加速度计。对其内部结构及外围的温度补偿电路进行分析。通过仿真得出复合量程微加速度计的外壳结构可以承受20 000 g的冲击，并用实验验证复合量程微加速度计适合测量炮射导弹发射时的冲击测量。在炮射导......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。