作者：广明安,韩雷 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2006年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2006080130 DOC编号：DOCBDTJ2006080139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 建立了超声键合压力的测量工作台，对工作台进行静态线性度标定和动态重复性测量，利用动态压电测力传感器对超声键合系统键合压力大小进行测量，得出不同压力作用下传感器力响应曲线图，分析其频谱图，发现保持某一固定功率(4.5格2.25W)，可以找到合适的键合压力(5格0.719N)与其匹配。这些实验现象和结果可作为超声键合过程参数匹配及优化的依据。

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