作者：陈伟平,赵振刚,刘晓为,韩天 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052320 DOC编号：DOCCGJS2006052329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真.这种框架结构可以有效地增大结构静态电容，以便在闭环工作时能产生更大的静电力.它的整体尺寸为2800μm&#215；3000μm&#215；60μm，结构惯性质量为0.14mgn，静态电容为3.618pF，抗过载能力超过5000gn.通过系统仿真，该加速度计的电压灵敏度为90mv/gn，量程为&#177；50gn，系统带宽是10kHz。

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