《基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模(英文)》PDF+DOC
作者：陈健,陈德勇,王军波
单位：中国微米纳米技术学会;天津大学
出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2006年第02期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFNMJM2006020090
DOC编号：DOCNMJM2006020099
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为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰，提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器， 分析了该结构差分检测和消除交叉轴干扰的原理．推导了该设计的理论模型，包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导，得到了待测加速度与输出固有频率偏移的关系．使用有限元模拟来证实理论模型．模拟结果说明，该设计的灵敏度每重力加速度g高于4 kHz．探讨了具体结构参数的选取与输出频差的关系，说明通过调整微型杠杆的尺寸可以进一步提高本设计的灵敏度．
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