作者：姚素瑜,秦明,黄庆安 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051470 DOC编号：DOCCGJS2006051479 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对多传感器集成的气象芯片设计中的布局问题，采用有限元方法分析了热风速计工作中产生的热场对气压膜的影响。研究了热应力的分布情况，通过增加表面热阻结构设计，研究了热应力减小的方法.研究结果表明通过进一步优化设计可以减小热应力对压力敏感膜的影响。

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