作者：赵天津,黄乐天,谢暄,魏敬和 单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所 出版：《电子与封装》2020年第10期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDYFZ2020100010 DOC编号：DOCDYFZ2020100019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 数字集成电路随着工艺制程的提高，可靠性问题逐步凸显，而老化则是可靠性问题的一个重要方面。同时由于数字集成电路被广泛地应用于工业、汽车、航天等领域，对可靠性提出更高的要求，因此针对数字集成电路老化监测的技术成为了研究热点。对数字集成电路的老化效应进行了总结，并分析得出先进工艺下需要重点监测的老化效应，对数字集成电路现有老化监测手段进行总结分析，同时对老化监测技术的进一步发展提出了展望。

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