作者：许奎伟,李经民,李名扬,丁来钱,郭利华 单位：福建省机械科学研究院 出版：《机电技术》2020年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDJS2020050060 DOC编号：DOCJDJS2020050069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展》PDF+DOC2005年第03期 彭杰纲,周兆英,叶雄英 《基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用》PDF+DOC2007年第03期 张树生,韩克江,成健 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定》PDF+DOC2016年第08期 谷永先,邬林,曾鸿江,胡娜娜,钱江蓉 《基于气旋原理的MEMS热膜式气体流量传感器除尘装置》PDF+DOC2020年第05期 葛言,孙中圣,袁昌荣,李小宁 《一种用于MEMS流量传感器的ΣΔADC》PDF+DOC2019年第07期 王亚林,杨拥军,任臣,李博 《微流量测量与控制系统》PDF+DOC1998年第03期 王晓浩,周兆英,叶雄英,张文栋 《热式气体质量流量传感器研究与发展》PDF+DOC2005年第10期 孙承松,李瑞 《一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作》PDF+DOC2010年第11期 芦琦,陈翔,肖丽君,陈迪 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC2009年第12期 郭然,陈德勇,王军波 《一种MEMS微流量传感器的设计与分析》PDF+DOC2008年第02期 刘亚欣,陈立国,孙立宁

    • 根据鱼类机械侧线感知系统，设计了一种基于压电效应的新型MEMS流量传感器；利用分析软件进行流-固耦合仿真，优化了纤毛的关键尺寸和分布方式；利用微纳加工工艺制作了流量传感器的样机，并对传感器样机进行了初步测试。该微型MEMS传感器的可以实现微流体的流速测定，在水下机器人、生物医学和微流体设备的检测等领域，具有广阔的应用前景。

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