作者：郭欣榕,张永威,谭秋林,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2020年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2020050140 DOC编号：DOCYDSG2020050149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 该文提出一种新型声表面波三轴加速度传感器，并对传感器进行了建模和有限元仿真分析，获得了不同加速度载荷下传感器结构的位移和应变分布。该传感器采用四端五梁结构，通过谐振器位置和算法的设计消除了温度漂移对x、y轴向加速度响应的影响，并实现了各轴向加速度的解耦。从理论和仿真上验证了所提出的三轴加速度传感器整体设计的可行性。结果表明，对传感器结构的模态分析为避免实际应用中对传感器的破坏提供了一定的依据。对所设计传感器进行模态分析，求得传感器的固有频率，以规避传感器的共振损伤。

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