作者：马勉军,陈焘,雷军刚,王佐磊,魏晋鹏,邵航 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2016年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2016060130 DOC编号：DOCZKKX2016060139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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