作者：高寿祖 单位：中国惯性技术学会 出版：《》 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLKG1997010040 DOC编号：DOCHLKG1997010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《关于微型机械加工的发展现状研究》PDF+DOC 张亮 《微型机电系统》PDF+DOC2000年第Z1期 周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹 《微米纳米技术及微型机电系统》PDF+DOC1998年第01期 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联 《微型机电系统技术及其21世纪应用展望》PDF+DOC1999年第01期 孙柏林 《面向21世纪的微米、纳米科学与技术》PDF+DOC1999年第04期 周百令 《微型机电系统的进展》PDF+DOC1996年第S1期 周兆英,叶雄英,胡敏,尤政 《面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术》PDF+DOC1995年第02期 丁衡高 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC2003年第09期 李国厚,白林峰 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC2007年第03期 侯亚丽,李长河,蔡光起 《中国MEMS市场发展迅猛国外代工厂加大投入》PDF+DOC2014年第10期 王丽英

    • 八十年代以来，美、日、西欧等一些国家十分重视微型机电系统(MEMS)的应用研究工作，并投入了大量人力物力，目前已取得许多成果，有成百种产品可实用或接近实用，其中有些已作为工业产品进入市场，受到全世界的瞩目。 MEMS的构成 MEMS是包括微型机构、微型传感器、微型执行器，以及信号处理和控制电路，直接接口、通讯和电源所组成的微型系统。近10年来，多种微型制造技术的发展，其中包括半导体微细加工技术、LIGA加工技术，以及各种超精

    📙 相关资料

    1. 《关于微型机械加工的发展现状研究》PDF+DOC 一、微型机械加工技术概念微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点...
    2. 《微型机电系统》PDF+DOC 分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 ，正是我国发展该领域的好时机...
    3. 《微米纳米技术及微型机电系统》PDF+DOC 微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程，微细加工的进展，微型机电系统的概念、主要研究课题，以及它的应用领域。...
    4. 《微型机电系统技术及其21世纪应用展望》PDF+DOC 当前人们在向宏观世界不断进军的同时，也在向微观世界发起冲击。人们不断地致力于微型装置的研究制造与开发利用。微米／纳米技术（micro／nanotechnology）以及在此基础上发展起来的微型机电系统（micro－electro-mechanicalsystems，MEMS）制造技术，将有可能成为2......
    5. 《面向21世纪的微米、纳米科学与技术》PDF+DOC 本文介绍了微米/纳米科学与技术的含义、意义、国内外发展概况、微米/纳米机械的特征以及它的应用领域，这对开展该领域的研究具有一定的指导意义。...
    6. 《微型机电系统的进展》PDF+DOC 微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。...
    7. 《面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术》PDF+DOC —微米／纳米技术是本世纪出现且发展迅猛的一项高新技术。本文在论述了微型机电系统和专用集成微型仪器的制造工艺和发展动态的基础上，进一步论述了小型、微型和“纳米”卫星概念和应用前景。本文还对纳米技术的实质及其产生的革命性影响进行了讨论。微米／纳米技术的应用前景充分显示了其鲜明的军民两用性，将深刻地影响国......
    8. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
    9. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......
    10. 《中国MEMS市场发展迅猛国外代工厂加大投入》PDF+DOC MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，可以说囊括了当今科学技术发展的众多尖端成......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。