作者：孙永杰 单位：中国青基会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQNKJ1997010090 DOC编号：DOCQNKJ1997010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微米纳米技术及微型机电系统》PDF+DOC1998年第01期 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联 《面向21世纪的微米、纳米科学与技术》PDF+DOC1999年第04期 周百令 《微型机电系统在化学分析中的应用》PDF+DOC1997年第07期 孙彦平,孟晓雄 《微型机电系统技术及其21世纪应用展望》PDF+DOC1999年第01期 孙柏林 《微型机电系统的进展》PDF+DOC1996年第S1期 周兆英,叶雄英,胡敏,尤政 《纳米马达的驱动原理及其应用》PDF+DOC1997年第01期 大舟 《面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术》PDF+DOC1995年第02期 丁衡高 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC2002年第08期 徐小云 ,颜国正 ,丁国清 《MEMS概况及发展趋势》PDF+DOC2002年第01期 张威,张大成,王阳元 《薄膜导热系数的测量方法及技术》PDF+DOC2010年第05期 王伟伟,张敏,李凌智,柳清菊

    • 科学技术的发展使人类在探索宏观世界的同时，也在向微观世界进军。进入20世纪，空间技术、生物工程、信息科学、临床医学都得到了巨大发展。这些高技术在21世纪能否保持目前的发展势头，在一定程度上取决于微型机电系统的发展。 微型机电系统的研究始于60年代。1987年美国加州大学首次做出直径为100微米、60微米的微电机以来，仅9年时间，微型机电系统年产值已

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