作者：高寿祖 单位：中国惯性技术学会 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLKG1998020080 DOC编号：DOCHLKG1998020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 过去曾介绍过微米/纳米技术的基本知识，特别是MEMS(微机电系统)的应用与有关微加工方法。今天，随着惯性系统及仪表的体积不断向小型化发展，MIMU已越来越成为一种有着广阔应用前景的MEMS。 MIMU是微型惯性测量组合英文名Mi-cro Inertial Measurement Unit字首的缩写。在美国，有时也被称为轻型(Light)惯性测量

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