作者：陈家斌 单位：中国惯性技术学会 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLKG1995020010 DOC编号：DOCHLKG1995020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 国外在八十年代初期开始微机械微电子系统(以下简称微机电系统)的研究工作。经过十五年左右的努力，微机电系统中的微型惯性器件的研制工作取得了很大的进展。微型惯性器件的出现，可以说是惯性技术领域又一次新的变革。科学技术的发展真是日新月异。从电子管到晶体管，到大规模集成电路，电子产品的

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