《关于微型机械加工的发展现状研究》PDF+DOC

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3. 《微米/纳米技术浅谈——MEMS的构成和应用(二)》PDF+DOC 八十年代以来，美、日、西欧等一些国家十分重视微型机电系统(MEMS)的应用研究工作，并投入了大量人力物力，目前已取得许多成果，有成百种产品可实用或接近实用，其中有些已作为工业产品进入市场，受到全世界的瞩目。 MEMS的构成 MEMS是包括微型机构、微型传感器、微型执行器，以及信号处理和控制电路，直接......
4. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......
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6. 《中国MEMS市场发展迅猛国外代工厂加大投入》PDF+DOC MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，可以说囊括了当今科学技术发展的众多尖端成......
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