《四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计》PDF+DOC
作者:郭静,张国军,刘源,王续博,张文栋
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2016年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2016020040
DOC编号:DOCCGJS2016020049
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针对当前的MEMS矢量水听器存在左右舷模糊问题,提出了一种四元阵型MEMS矢量水听器微结构。首先,从理论上分析了当前的MEMS矢量水听器左右舷模糊问题,从而提出了可消除左右舷模糊的四元阵型MEMS矢量水听器微结构。其次,对四元阵型MEMS矢量水听器微结构进行有限元仿真,声源方向可以通过分析各阵元应力分布情况而唯一确定。最后,通过驻波声场试验验证其可行性,结果表明,该微结构可实现左右舷分辨,有效消除左右舷模糊。
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