作者：木子 单位：中国惯性技术学会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLKG2011100120 DOC编号：DOCHLKG2011100129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 自微电子技术问世以来，人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度的装置，并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等领域，不断提出微小型化方面更新更高的要求。著名物理学家，1965年诺贝尔奖获得者理查德&#183；P&#183；范曼(Richard P&#183；Feynman)，在1959年12月的美国物理学会年会上，以

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