作者：李天茂,吴雅翠 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1984年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1984060010 DOC编号：DOCYBJS1984060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文叙还了扩散硅压力传感器的硅杯制造工艺和设备的研制情况。对工艺中存在的几个问题与解决方法，硅杯机的性能和工艺参数等方面进行了说明。

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