作者：黄焕琼,晏光华 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1981年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1981030100 DOC编号：DOCYDSG1981030109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文叙述了用ZnO压电薄膜制作温度稳定的表面波延迟线的实验工作结果，c-轴取向的ZnO膜用射频溅射方法制造，ZnO薄膜淀积在各种非压电基片上，可用于发生和检测中心频率约为100兆赫的声表面波.文中研究了薄膜结构和薄膜厚度与机电耦合系数的关系.详细研究了基片材料对延迟的温度系数的影响，获得了延迟温度系数为-5.4&#215；10~(-6)/℃的结果。

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