《近代仪器分析及其在电真空工业上的应用》PDF+DOC
作者:赵善楷
单位:北京真空电子技术研究所
出版:《真空电子技术》1977年第06期
页数:17页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKDJ1977060200
DOC编号:DOCZKDJ1977060209
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随着科学技术的发展,作为科研的重要工具——理化分析技术,近年来也有很大的发展,特别是一些新仪器的出现,对科研技术工作起了有力的配合和促进作用。电子器件的生产和发展,要求对其材料和工艺进行精细的理化分析,要求对被加工材料的微量和超微量杂质的存在及分布情况,微区域内的成分、结构状态和缺陷分布,材料表面或其上极薄层的成
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