作者:赵善楷 单位:北京真空电子技术研究所 出版:《真空电子技术》1977年第06期 页数:17页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKDJ1977060200 DOC编号:DOCZKDJ1977060209 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 随着科学技术的发展,作为科研的重要工具——理化分析技术,近年来也有很大的发展,特别是一些新仪器的出现,对科研技术工作起了有力的配合和促进作用。电子器件的生产和发展,要求对其材料和工艺进行精细的理化分析,要求对被加工材料的微量和超微量杂质的存在及分布情况,微区域内的成分、结构状态和缺陷分布,材料表面或其上极薄层的成

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