《动态薄膜厚度测量》PDF+DOC
作者:陈桂英
单位:航天科技集团公司九院七七一所
出版:《微电子学与计算机》1976年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWXYJ1976030110
DOC编号:DOCWXYJ1976030119
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,王泰楚
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现代大多数真空淀积系统,利用石英敏感器监控薄膜厚度。其他监控方法还有电离计、光学反射以及电阻监控器。这些方法虽然也能够监控薄膜厚度,但石英晶体监控器是最有力的控制系统。经过改进,从频率测量到周期测量,以及现在引进声学阻抗因子,使石英晶体监控器保持它的声誉。
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