作者：黄良甫,李守忠,谈治信,惠金河,周献文,周先明 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》1983年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX1983060070 DOC编号：DOCZKKX1983060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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