《携带式压力表用薄膜应变片》PDF+DOC

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2. 《退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响》PDF+DOC 该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化，实验中分别选择常温(25?C)、200?C和300?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火，最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看，退火温度为200?C时，得到的电......
3. 《高精度薄膜压力传感器的研制》PDF+DOC 从理论上分析了薄膜压力传感器误差产生的原因，针对封闭全桥的热零点漂移和热灵敏度漂移采取了不同的方法进行补偿。在某一桥臂上并联温敏电阻补偿热零点漂移；在恒压源产生电路中接入温敏电阻调节恒压源的温度系数以补偿热灵敏度漂移。温敏电阻均采用离子束溅射工艺制作在压力敏感芯片上。给出了各个电阻的计算公式和选取原......
4. 《一种新型CO气敏双层薄膜材料》PDF+DOC 介绍了一种新型结构 CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂 Sn O2 /Sn O2 ∶ Pt双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响 ，并对气敏机理的有关问题进行了讨论...
5. 《混合集成力敏传感器的研制》PDF+DOC 本文对半导体应变式传感器的非线性、温度零漂、灵敏度温度系数、蠕变等参数进行了研究，建立了电子线路综合补偿方法，并采用半导体平面工艺研制成功了小型硅应变片，与混合集成电路技术结合，使敏感元件与补偿、放大电路组合成为一体。...
6. 《非晶态薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC 本文介绍的是文献[1]的第二轮研制工作，包括：①用射频溅射非晶态NiSiB薄膜应变片的制备新工艺；②敏感弹性元件的设计；③薄膜压力传感器的构造与性能。 虽然，NiCrMe合金、Ta_2N合金等性能较好且已有应用，但是，我们仍采用非晶态的NiSiB的合金。原因在：它的电阻变值与所受应变值间线性关系范围......
7. 《压力传感器灵敏度特性的研究》PDF+DOC 针对应变片在圆平薄膜上的两种布置方式，导出了圆平薄膜压力传感器灵敏度的计算公式，分析了应变片布置方式和位置以及温度对灵敏度的影响，通过理论计算与实际测量的结果比较，指出了提高压力传感器灵敏度的有效途径，并且分析了应变片两种布置方式压力传感器灵敏度与温度的关系。...
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