作者：WilliamJ.Tanski,杨清宗 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1982年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1982060110 DOC编号：DOCYDSG1982060119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍石英窄带声表面波(SAW)器件制成后的频率调整程序。此程序用四氟化碳+氧(CF_4+O_2)等离子体对石英基片进行选择性刻蚀，以便通过增加金属电极结构的台阶高度来永久地改变换能器的物理结构。增加台阶边缘的能量存貯和提高振子换能器的反射率有助于降低器件频率。此技术简单易行，可以用几种设备实施而不改变器件的长期老化率。此技术可用于只刻蚀换能器就能调整频率的谐振器和具有任何电极结构的延迟线型滤波器。

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