《铌酸锂声表面波器件性能的改进》PDF+DOC
作者:M.F.Lewis,杨清宗
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》1982年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG1982050110
DOC编号:DOCYDSG1982050119
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制作在铌酸锂(LiNbO_3)上的许多声表面波(SAW)器件都有会恶化器件性能的机械损伤,它由SAW图案中各种金属区之间的电场造成。本文讨论了这种电场形成的原因,并指出,用高阻值金属链连接金属化区可消除这个问题。
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