作者： 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1977年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1977030160 DOC编号：DOCYDSG1977030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 绪言以前利用溅射法、气相成长法或外延法制作的ZnO薄膜，是用来研究利用ZnO厚度模式的高频超声波换能器或者表面波用换能器，以便在甚高频(30-300兆赫)、特高频(0.3-3千赫)或更高的频率使用。本文把C轴与基片表面垂直取向的ZnO溅射膜作为发生和检出垂直于C轴方向的法线应变，即垂直于厚度方向的法线应变的压电换能

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