《真空蒸发钛薄膜的电阻温度系数》PDF+DOC

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2. 《薄膜应变片与传感器》PDF+DOC 为了克服金属箔式应变片应变灵敏系数低及滞后、蠕变大的缺点，最近二十多年来，传感器技术界的研究重点是寻找一种价格便宜、能替代传统金属箔式应变片的新型传感元件.各种金属或合金及半导体、氧化物的薄膜应变片，由于其由真空蒸发、溅射、化学气相淀积或等离子气相淀积等工艺制成，因而具有几乎没蠕变、滞后等理想特性，......
3. 《非晶态薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC 本文介绍的是文献[1]的第二轮研制工作，包括：①用射频溅射非晶态NiSiB薄膜应变片的制备新工艺；②敏感弹性元件的设计；③薄膜压力传感器的构造与性能。 虽然，NiCrMe合金、Ta_2N合金等性能较好且已有应用，但是，我们仍采用非晶态的NiSiB的合金。原因在：它的电阻变值与所受应变值间线性关系范围......
4. 《薄膜》PDF+DOC 薄膜是不同于其它物态(气态、液态、固态和等离子态)的一种凝聚态，有人称之谓物质的第五态。顾名思义，薄膜就是薄层材料。它可以理解为气体薄膜，如吸附在固体表面的气体薄层；也可理解为液体薄膜，如附着在液体或固体表面的油膜。这里所指的薄膜是固体薄膜，即使是固体薄膜，也可分为薄膜单体和附着在某种基体上的另一种......
5. 《薄膜铜电阻温度传感器》PDF+DOC 本文研制的薄膜铜电阻温度传感器具有如下性能：测温范围：-50～+150℃，最大非线性度&lt；0.5％，电阻温度系数4150&#177；20ppm℃~(-1)，响应时间&lt；0.5s。 制备薄膜铜电阻温度传感器的工艺流程如下：抛光硅片(p型或n型)清洗→热氧化→...
6. 《镍薄膜温度传感器》PDF+DOC 镍薄膜电阻器是近年来开发研究的新型测温元件。70年代末，日本报导了圆柱状镍膜测温电阻；1985年，联邦德国的Saufer-Cuinulus公司研制出其电阻温度系数等特性达到该国标准的镍薄膜电阻器(温度系数为6170ppm/℃)，为此获得1985年度联邦德国传感器发明大奖。...
7. 《大批量半导体热敏电阻自动分度装置》PDF+DOC 作为温度传感器，半导体热敏电阻在建筑部门的工程地质勘查中，以及在实验室工作中，都得到非常广泛的应用。这是由于它比其他类型的传感器具有许多优点。首先，半导体热敏电阻只有很高的温度灵敏度。对于铜-锰热敏电阻(MMT 型)，电阻温度系数为-2.5～-5.0%；对于铜-钴-锰热敏电阻(CT3和 MKMT 型......
8. 《Cr金属薄膜温度传感器的研究》PDF+DOC 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺，得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。...
9. 《锰铜精密电阻薄膜的制备工艺研究》PDF+DOC 采用溅射技术 ，对薄膜沉积的相关工艺参数进行了优化 ，获得了电阻温度系数 TCR≤&#177； 10&#215； 10 - 6 /℃的锰铜薄膜。该项技术为锰铜传感器的薄膜化奠定了基础 ，同时也可用于制作锰铜薄膜精密电阻器...
10. 《镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件》PDF+DOC 为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ，提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ，并将其集成在耐高温压力传感器上 ，对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室......