《采用I~2L工艺制造的频率——模拟信号输出的敏感元件》PDF+DOC
作者:焦健
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1984年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1984040070
DOC编号:DOCCGQJ1984040079
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集成化敏感元件的一个重要功能,是将输入的模拟信号变换为数字或频率—模拟信号。文章就此论述了I~2L(集成注入逻辑电路)环形振荡器在电容和电阻式传感器中的应用。通过对试验敏感元件片的研究,获得了不同的信号变换方法。作为单片集成频率—模拟敏感元件的一个例子,已经研制出了压力敏感元件,并且测得了它的灵敏度,线性及温度系数。
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