作者：渡道聪,陈远宏 单位：云南省化工研究院;云天化集团有限责任公司;云天化集团有限责任公司 出版：《云南化工》1980年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYNHG1980030070 DOC编号：DOCYNHG1980030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着半导体技术的进步，半导体应变计作为压感器件被重视，其最大的原因是利用它产生的灵敏度的大小超过了金属应变计的数十倍。到目前为止作为大部份半导体应变计，通常是从单晶硅轴向切取的薄片用来作压感器件，但是在最近伴随集成电路技术的发展，而重视了扩散形半导体应变计。在容积式中，把传感元件连接在其他的基片上应用，由于其接触层存在漂移、滞后现象或灵敏变化等原因，构成了较大的缺点，由于在

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