作者：刘家澍,朱耕建,陈宗宝,余民森 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》1982年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX1982030010 DOC编号：DOCZKKX1982030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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