作者：姜文汉 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》1979年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC1979050060 DOC编号：DOCGDGC1979050069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本专利是关于利用掩模和片子的对准图形进行对准的电—光对准系统，对准图形的象可以经过空间滤波器有选择地通过，每个对准图形包括至少两条非平行的线。对准图形的安排使掩模和片子上至少两个相应点的x、y座标位置可以用通过壹个单向敏感装置扫描对准图形的滤频象来感受。然后掩模和硅片定位到对准图形产生的信号指示出掩模和硅片的对应点已经对准为止。

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