作者:傅灿鑫 单位:中国电子科技集团第四十四研究所 出版:《半导体光电》1984年第02期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTG1984020210 DOC编号:DOCBDTG1984020219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 1983年12月在华盛顿召开的国际电子器件会议上,德克萨斯(Texas)仪器公司的R.D.McGrath发表了1024×1024CCD图像传感器。这一器件是应美国喷气推动实验的要求而研制的,主要用于科学卫星。该器件是帧转移虚相CCD。这种器件只有光敏区和读出区。由于没有存储区,因而读出信号时不需要遮光。虚相CCD(参见82年光电快报)只有一个电极(1相驱动),实质上是2相驱动。改变掺杂密度,使势阱分布按信号转移方向形成。对转移电极提供电压就可改变势阱中转移信号电荷。器件结构非常简单,仅用了一层a—Si电极。虚相区也可以接收光子,因而提高了开口率。芯片尺寸为1.98×1.98cm~2,单元尺寸为18.2×18.2μm~2。采用了5:1聚光镜。带宽2MHz(-3dB),噪声(电子扰动)11个电子,量子效率约0.7,灵敏度0.64μv/电子,转移效率0.99995%,饱和电子数2.2×10~5,读出速度在55K~1M象素/秒以内。与普通的家用TV摄像机不同,该器件是用于科学卫星的,一边冷却一边缓慢读出,完全可以满足科学卫星的需要。

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