作者：李志强,于泓涛 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》1982年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX1982040070 DOC编号：DOCZKKX1982040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 薄膜电阻真空计的测量范围为1托～1000托，线性测量，测量精度优于5％，为全压强测量，测量值受被测气体种类影响较小。一、引言利用集成电路平面工艺在硅膜片上制作四个等值电阻，组成惠斯登电桥。硅膜片在不受力时，电桥处于平衡状态，电桥没有电压输出。硅膜片受到压力时，由于压阻效应，电桥处

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