作者：袁大发 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》1979年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC1979060100 DOC编号：DOCGDGC1979060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 高分辨率显微密度计的功用，目前受到不能精确调焦和在动态条件下不能保持焦距的限制。本文叙述了通常引起严重离焦的动态条件下，还能确定和保持焦距公差小于1μm的一种装置，该装置在一闭环反馈系统中采用气动工作原理。在确定焦点位置精度和重复性上可代替目视调焦，从而得到最佳焦点。也不必由操作者沿袭旧法用手控调焦定位了。通过测量指示器的指针确定调焦位置，指针指在小型千分表的增量从稍偏离靶面的地方到20μm以下。这种系统的动态调节超过150μm。被测对象的厚度允许达到1/4吋。由于气动伺服机构采用空气喷嘴，因此，它不仅可以自动调焦，而且提供了在许多可选择的压片方法中最好的一种方法。

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