作者： 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1979年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1979040140 DOC编号：DOCYDSG1979040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • Ulvac公司已成功地研制成制作化合物的等离子体CVD化学汽相沉积的装置.可以在半导体基片上沉积氮化硅或氧化硅薄膜.等离子体CVD装置用高频感应等离子体气相反应来促进化学反应，从而在半导体基片上形成化合物薄膜.Ulvac公司在New R andD公司资助下在过去三年中一直致力于研制这种装置.通常恒定的CVD和还原的CVD法能有效地形成保护集成电路和大规模集成电路基片

    📙 相关资料

    1. 《阔步迈进的传感器、显示器和通信集成电路 微机械式传感器,高分辨率电荷耦合器件(CCD)成像器,平板显示器以及先进的光电器件是IEDM会议当前的热门话题》PDF+DOC 1994年，传感器取得了十分令人注目的进展，这一情况已在1994年IEDM的很多技术论文中反映出来.完全有理由相信，传感器的重要性将在未来的岁月中与日俱增，那么，电机工程师和设计师们在期待些什么呢?全世界参加IEDM会议的传感器研究人员认为，传感器的发展将会形成一股巨大的浪潮.例如，日本丰田研究开发......
    2. 《臭虫与计算机》PDF+DOC 目前，世界上许多研究机构在研究如何把生物学和电子技术结合起来。有的已制造出利用蛋白质识别物质的生物传感器；有的正在努力研制生物基片，以制造新一代更小更灵敏...
    3. 《用超声波控制的新型集成电路》PDF+DOC 日本京都大学工学部盐崎忠副教授等所在的小组，研制成一种具有如下新功能的集成电路：用超声波控制输入的光信号，把它变成电信号输出。通过光信号的回路、产生超声波的表面弹性波元件以及把光信号变成电信号的传感器作单片集成。应用这一技术，除了能提高声音处理和光通信用大规模集成电路...
    4. 《光电传感器和光隔离器》PDF+DOC 近年来光电器件随着大规模集成电路的出现也在向组件化方向发展；将发光元件和受光元件组装在一起成光电IC(集成电路)，可进一步缩小体积，提高可靠性，降低成本。本文介绍目前在电子技术中用到的两种光电器件，一类是在自动检测中常用到的光电传感器，另一类是利用光来传送电路间的信号，且起着电气绝缘作用的光隔离器。...
    5. 《陶瓷材料获得特殊的应用》PDF+DOC 随着新的电子仪器的发展，在陶瓷材料方面最近获得相当大的进展。为了满足用户的需要，制造者致力发展新的材料和加工工艺，因此，新的陶瓷材料的加速发展促进了新的电子仪器的发展。用作集成电路基片的陶瓷材料陶瓷材料常被用作IC(集成电路，以下同)基片、绝缘介质、压电和半导体材料，下面将讨论这些应用。...
    6. 《八十年代国外电子元器件的展望》PDF+DOC 八十年代的电子元器件将会发生什么样的变革呢?从目前来看，好象不会出现什么重大的革新。硅大规模集成电路仍将作为数字信息处理器件，屏幕显示装置(CRT)仍将作为信息显示装置，这两种电子元器件将继续存在。七十年代，大规模集成电路技术的发展是相当惊人的，八十年代，此项技术肯定将继续有所进展。液晶显示器件在实......
    7. 《日本着手开发可监测环境的微基片》PDF+DOC 日本经济产业省决定从2002年度起由政府、产业和大学合作，花5a时间，致力于研制开发用玻璃基片制造的微细空间电路，同时并行发生各种化学反应的微型化学基片工程。在研制开发的玻璃基板上，形成由μm或nm单位加工的流体通路的反应电路。它是由小型泵、电子管、传感器等相配台，通过调整微量流体的流动来控制试剂下......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。