作者： 单位：上海磨床研究所 出版：《精密制造与自动化》1974年第01期 页数：21页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSCYM1974010050 DOC编号：DOCSCYM1974010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、绪言一般希望在几个厘米之外对一散射功反射表面各分散点测量其形状，量程10～100微米，精度0.1～10微米。这类测量可以在一普通测长机上进行，只要在上按装一非接触式触头用以精密地测量工件表面至一基面间的距离。已发展的少数非接

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