《SAW在气敏传感器中的应用》PDF+DOC
作者:Ю.Г.Орлов,秦玉建
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》1984年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG1984020070
DOC编号:DOCYDSG1984020079
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在气体成份分析技术中已应用了以压电石英微量称量法为基础的测量装置。石英谐振器的频率与其质量变化的关系是这种方法的基础。利用淀积于谐振器表面的薄膜对气体吸收的过程,从而实现了使气体成份浓度的测量转变为测量质量的变化。气体分析器的灵敏度和精确度都很高。对某些气体的临阈灵敏度可达10~(-7)克。线性动态范围约为3个数量级,弛豫时间亦小,为零点几秒。
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