作者：李纪文 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》1982年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS1982010030 DOC编号：DOCIKJS1982010039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 单晶硅压阻式固态压力传感器是当前航空测试工作中急需的器件。多年来，不少厂所、院校做了大量的研制工作，产品性能有所提高。目前迫切需要进一步提高温漂等性能指标和小型化、系列化。北京航空学院微电子器件实验室研制的，直径为3毫米的GGY-Z3型微型固态压力传感器，经有关单位试用后，已于1982年初，由三机部主持的鉴定会对该产品进行了技术鉴定，现已进行小批量生产。微型固态压力传感器的研制工作仅仅是开始，还有不少技术上的问题需要进一步解决。欢迎展开交流和讨论。

    📙 相关资料

    1. 《YC-200型扩散硅固态压力传感器》PDF+DOC 在沈阳仪器仪表工艺研究所科研成果的基础上，营口仪表元件一厂于一九七九年试制出YC-200型扩散硅固态压力传感器。经过现场运行及有关单位的技术鉴定，该传感器性能稳定，综合精度达0.1％以上，可以组织小批量生产。这种传感器是利用半导体的压阻效应，在N型单晶硅膜片上，采用集成电路工艺沿一定的晶向制成四个P......
    2. 《微机械差动电容压力传感器的研究》PDF+DOC 文中介绍以Ｎ型单晶硅为基底，利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。...
    3. 《扩散硅压力传感器在水文中的应用》PDF+DOC 本文仅以L18系列为例，简介固态压阻传感器及其在测量水文一些要素中的应用。 各种进口扩散硅系列固态压阻传感器均以单晶硅为基体，按特定晶体面，根据不同的受力形式分别加工成杯、梁、柱、膜等形状作为弹性应变元件，在弹性应变元件的适当位置，用集成...
    4. 《扩散硅压力传感器》PDF+DOC 扩散硅压力传感器是利用半导体单晶硅的压阻原理制成的压力传感器，具有精度高、尺寸小，长期稳定性好等优点，广泛用于流体压力、液位和流量的测量。本文较通俗的介绍了这类传感器的工作原理、国内外发展、技术性能和有关应用方面的知识.可帮助非本专业的同志了解并较好的选用这类传感器。...
    5. 《C型压力传感器的设计》PDF+DOC 介绍一种Ｃ型压阻式压力敏感元件与结构的设计方法。...
    6. 《单晶硅压力传感器技术进展》PDF+DOC 硅材料可分为单晶硅、多品硅和非晶硅。从结构上来说，单晶硅最简单，非晶硅最复杂。用这三种材料都可以制造压力传感器。这些压力传感器大致可以分成四种形式，即压阻式、电容式、MOS式和薄膜式。前三种主要以单晶硅制造，后一种主要以多晶硅和非晶硅制造。目前制造压力传感器仍以单晶硅为主，但从发展趋势来看似有向多品......
    7. 《浮选柱生产参数的智能检测》PDF+DOC 对浮选柱选煤过程中利用ＭＰＸ系列Ｘ型横向压阻式硅压力传感器进行泡沫区及捕收区界面高度、密度等生产参数的测量问题进行了深入研究，得出了计算公式，并运用８０９８单片机实现了这些参数的动态测量，为今后的浮选柱自动控制创造了条件。...
    8. 《GGY-20型高性能固态压力传感器》PDF+DOC 本文介绍了采用“固体连接结构”的固态压力传感器的结构设计、性能指标、非线性及其温度补偿措施，并提供了性能测试的有关情况及其具体数据。...
    9. 《固态压力传感器在空压机自动控制中的应用》PDF+DOC 介绍固态压力传感器MPX系列中的压力开关敏感元件的特性 ，并给出了由MPX压力传感器组成的开关应用电路。将由MPX压力传感器组成的压力开关装置应用到压缩空气系统中 ，可自动控制压缩空气的压力 ，使其满足化工生产的要求...
    10. 《压力传感器的温度补偿》PDF+DOC 本文以压力传感器为例，从材料、硬件、单片机软件处理等几方面来阐述传感器的温度补偿。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。