《应变计式压力传感器的非线性误差及灵敏度》PDF+DOC
作者:平鹏
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》1984年第01期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB1984010110
DOC编号:DOCYQXB1984010119
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应变计式压力传感器主要有圆板及圆筒式两种。圆板式压力传感器的弹性元件是一块等厚固支金属或硅圆板,在圆板上表面粘贴应变片或用扩散法形成压阻半导体层,如图1的R_1、R_2、R_3及R_4,并组成图2所示的电桥。当圆板底面作用均布压力P 时,上表面的径向及周向弯曲应力σ_(βr)及σ_(βt),圆板中面径向及周向拉应力σ(αr)及σ_(αt)分别为[1][2]
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