《扩散硅压力传感器》PDF+DOC
作者:彭斯福
单位:北京服装学院
出版:《北京服装学院学报(自然科学版)》1983年第01期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBFXB1983010030
DOC编号:DOCBFXB1983010039
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扩散硅压力传感器是利用力敏器件制成的一种新型的压力传感器。由于它测量精度高,体积小,重量轻,工作可靠,频率响应快等优点,受到了人们高度重视。近几年来,正逐渐被应用到科技与生产各部门中去。扩散硅压力传感器的核心部分是力敏器件。故本文着重对力敏器件的有关问题作介绍。
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