《关于电容传感器二室结构分析》PDF+DOC
作者:王化祥
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1983年第Z1期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1983Z10060
DOC编号:DOCCGQJ1983Z10069
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图1为二室结构的电容传感器。两侧是固定电容,中间的动膜片电极既是一次变换元件又是二次变换元件。所以该结构简单、对称性好,已被广泛采用。
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