《毫微米级机械振幅的激光干涉测量法》PDF+DOC
作者:Keiichi Tanaka,曾稳盛
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1980年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1980030130
DOC编号:DOCXDJL1980030139
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一、前言早已报导过用干涉法测量微小振幅。Osterberg 提出了应用单色干涉条纹并以一个反射镜产生正弦运动方法的数学原理。用这种方法,按照光波波长可测量绝对振幅。然而,根据理论,通过直接观测条纹能测出的最小振幅限制到0.191λ(λ为光波波长)。可用干涉仪由一对平镜组成,由准直的光束照射。为了
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