作者：李剑白,陈月祥 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1982年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM1982040010 DOC编号：DOCGXJM1982040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 近代高精度光学角度传感器采用增量式的日益增多，其主要元件为光栅盘。为了提高测量精度，消除轴系偏心误差，光学角度传感器过去常采用对边成象方法(如图1)。由于成象要求清晰，光栅条纹又密，一般在25～100对/毫米之间，所以对成象光学系统质量要求很高，一般相对孔径都在 F/4以上，轴上轴外的象差均小于0.01毫米。为了

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