作者:Walter F. Kosoncky,屈积建 单位:中国电子科技集团第四十四研究所 出版:《半导体光电》1983年第03期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTG1983030070 DOC编号:DOCBDTG1983030079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 研制了32×63和64×128像素高性能PtSi和Pd_2Si肖特基势垒IR-CCD摄像传感器。80K下工作的PtSi肖特基势垒探测器(SBD_S)在3~5μm光谱区内具有百分之几的量子效率,截止波长6.0μm。工作在120~140K之间的Pd_2Si SBD_s在1.0~2.5μm光谱区的量子效率为1.0~8.0%,截止波长3.6μm。用64×128像素PtSi肖特基势垒IR-CCD摄像器件在60帧/秒的与IR兼容的TV摄像机中已经摄出了高质量的热像。用Pd_2Si肖特基势垒IR-CCD摄像传感器还得到了质量良好的SWIR反射红外摄像。

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