作者：范正田 单位：陕西鼓风机（集团）有限公司 出版：《工业仪表与自动化装置》1981年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYZD1981020100 DOC编号：DOCGYZD1981020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、概述正如所知，压力是现代科学技术中极为重要的基本物理量之一，但目前用于将压力转换成电信号的压力传感器，由于多半采用纯机械位移式的结构，因此存在着体积大、精度低、可靠性差等问题。随着半导体技术的发展，特别是随着集成电路工艺技术的发展及压阻效应理论的不断完善，七十年代初研究出了一种固

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